AFM NX10 Park Systems

Das Rasterkraftmikroskop (atomic force microscope – AFM) ermöglicht das Aufnehmen der Topographie einer Oberfläche, die im Gegensatz zur Rasterelektronenmikroskopie nicht leitfähig sein muss und auch ohne Vakuum untersucht werden kann.

Im Allgemeinen wechselwirkt eine Spitze (Durchmesser meist ca. 10 nm), die an einem Cantilever befestigt ist, mit der Oberfläche. Der Abstand der Spitze zur Oberfläche wird über einen Piezoscanner eingestellt und mittels einer Feedbackschleife werden Messparameter aufgenommen.

Zusätzlich zur Topographie lassen sich mit entsprechenden Spitzen beziehungsweise Cantilevern auch elektrische Eigenschaften (z.B. Leitfähigkeit) und magnetische Eigenschaften untersuchen. Des Weiteren ist das Messen der Topographie auch in Flüssigkeiten möglich.

Allgemeine technische Daten:

• 100 x 100 µm² und 10 x 10 µm² xy-Scanner
• 15 µm z-Scanner
• Probentemperierung von -25°C bis 180°C
• Universal Liquid Cell (ULC)
• Liquid Probehand

Für das Gerät vorhandene Messmodi:

• Contact Mode
• Tapping Mode
• Non-Contact Mode (NCM)
• Nanoindentation
• Nanolitography
• Force Modulation Microscopy (FMM)
• Electrostatic Force Microscope (EFM, EFM-DC)
• Scanning Capacitance Microscope (SCM)
• Conductive Probe AFM (CP-AFM)
• Scanning Tunneling Microscope (STM)
• Magnetic Force Microscopy
• Scanning Thermal Microscopy (SThM)
• Scanning Ion Conductance Microscopy (SICM)