Themen
- Zuverlässigkeitsuntersuchungen
- Metallisierungsdegradation
- Si Bulk Degradation und Regeneration
- BO-korrelierter Defekt
- LeTID Defekt
- Passivierende Kontakte basierend auf Metalloxiden
- Elektrische und optische Halbleiterbauelementesimulation (1D/2D/3D)
- Verlust- und Potentialanalyse
- Metamodeling
- Energieertragsmodellierung
Möglichkeiten
- Oberflächenpassivierung von Siliziumwafern mittels RCA Reinigung und ALD Al2O3 Abscheidung im „Zentralen Reinraumlabor“
- Defektcharakterisierung mittels DLTS, injektionsabhängige Ladungsträgerlebensdauerspektroskopie mit Sinton PCD und Photolumineszenz
- Injektionsabhängige Insitu-Degradationsuntersuchungen bei unterschiedlichen Beleuchtung und Temperatur
- Klimakammer Degradationsuntersuchungen (insitu/exsitu)
- TLM am Waferprober an fertigen Solarzellen oder an teilprozessierten Solarzellen durch strukturierte Kontaktierung im Zentralen Reinraumlabor
- Charakterisierung des Majoritätentransports (Tunnel- bzw. Schottky-artiges Verhalten) von passivierenden Kontakten mittels temperaturabhängiger TLM am Waferprober
- Bestimmung fester Ortsladungen und der Grenzflächenzustandsdichte mittels CV am Waferprober
- Halbleiterbauelementesimulation mittels TCAD Sentaurus Device, COMSOL, Quokka, PC1Dmod, LTspice
- Optische Simulationen mittels TCAD Sentaurus Device und Fray
- Ausstattung siehe „Photovoltaik Labor“
Kontakt
Dr. rer. nat. Matthias Müller
Gellertbau
Leipziger Straße 23, EG. 19
09599 Freiberg
+49 3731 39-2162
matth.mueller“et“physik.tu-freiberg.de