Zentrales Reinraumlabor

Das Zentrale Reinraumlabor (ZRL) der TU Bergakademie Freiberg befindet sich in einem Seitenflügel des Gellertbaus, in dem die Physikalischen Institute untergebracht sind. Hier werden Versuche und Arbeiten durchgeführt, die nur in einer partikelfreien Umgebung möglich sind. Vor allem betrifft das die Forschung und Herstellung von Materialien für mikroelektronische Bauelemente sowie den Aufbau von Teststrukturen.
In der untersten Ebene befinden sich Ver- und Entsorgungsanlagen, in der Mitte der eigentliche Laborbereich mit der Luftrückführung im Fußboden und in der oberen Ebene die Anlagen zur Luftklimatisierung und -reinhaltung. Die Filtertechnik stellt sicher, dass Verunreinigungen sofort aus der Luft entfernt werden. Dazu wird eine turbulenzarme Verdrängungsströmung von oben nach unten genutzt. Zusammen mit einer mehrstufigen Filterung und großem Luftdurchsatz werden, je nach Laborbereich, Reinheitsklassen zwischen 5 und 7 [ISO EN DIN 14644] bei konstanter Temperatur und Feuchtigkeit erreicht. Das ZRL verfügt über fünf Reinräume der Klasse ISO 5 (Kl. 100 nach FS 209), einen der Klasse ISO 6 (1000) und zwei der Klasse ISO 7 (10.000). In einem Reinstraum der Klasse ISO 5 dürfen nicht mehr als 3500 Partikel größer/gleich 500 nm in einem Kubikmeter Luft vorhanden sein, für Partikel größer/gleich 5000 nm nur 29. Dadurch werden hohe Anforderungen an die dort tätigen Personen und die genutzten Geräte und Hilfsmittel in Hinblick auf eine minimale Partikelemission gestellt.