Zum Betrieb des Reinraumlabors ist eine sehr umfangreiche Haustechnik erforderlich. Einige Anlagen sollen hier kurz vorgestellt werden:

Die Gassteuerungsanlage ermöglicht die Überwachung aller im Reinraum genutzten gefährlichen Gase. Die Messdaten zahlreicher Sensoren werden gesammelt und ausgewertet. So kann durch automatische Abschaltung bei detektierten Leckagen eine Gefährdung weitestgehend ausgeschlossen werden.

Die Prozesse im Reinraumlabor erfordern zum Teil hohe Abluft-Volumenströme. Zur Ressourcenschonung sind die Lüftungsanlagen mit Wärmerückgewinnungssystemen ausgestattet.

In der Prozessabluft der CVD-Öfen, ALD-Anlagen und des Plasmaätzers sind Stoffe enthalten, die die Behandlung mit einem Verbrennungssystem erfordern. Dazu werden die Abgase in eine heiße Flamme (Erdgas/Sauerstoff) eingeleitet. Durch nachfolgendes Auswaschen der Verbrennungsgase mit verdünnter Lauge wird die Abtrennung von sauren Gasen sichergestellt.

Die Prozessabluft aus der Nasschemie gelangt zur Reinigung über einen Nasswäscher. Dessen Abwässer und die aus chemischen Verfahren werden in einer zentralen Neutralisationsanlage aufbereitet.